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日本理研RIKEN定盘偏心检查器
寸法 定盤寸法 スイング
(センター高さ) センター間 平行度
(μm) センター 質量(kg)
850 850×500 150 0〜450 6 MT-2 275
1000 1000×750 240 0〜600 8 MT-2 380
1500 1500×1000 300 0〜1000 10 MT-3 860
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